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超精密三維表面形貌測量平臺

現(xiàn)代高端機械制造對幾何尺寸測量精度的要求越來越高,特別是對不加任何預(yù)處理的深色、透明、反光的材質(zhì)的超精密三維非接觸掃描測量一直是一個難以逾越的難題。FS系列超精密三維表面形貌測量平臺就是應(yīng)這個要求而開發(fā)的,其顯著特征包括:

幾乎可對任何特性的表面進行超精密3D測量

  • 可完成黑色、透明、反光等表面的非接觸三維掃描測量
  • ±42.5°大角度測量能力,獲取更多極限和邊緣處數(shù)據(jù)
  • 測量范圍小至集成電路,大至手機屏

納米級分辨率與測量精度

  • 垂直分辨率達17nm
  • 水平分辨率可達1微米
  • 測頭精度達14nm

測量效率高、穩(wěn)定性好

  • 僅需三步設(shè)置即可一鍵開始測量,節(jié)約時間精力
  • 最高20mm/s掃描速度,通常數(shù)分鐘之內(nèi)即可完成測量
  • 級大理石隔振設(shè)計,隔離1Hz以上環(huán)境振動影響
  • XY軸提供 分辨率光柵尺反饋,數(shù)據(jù)可重復(fù)性高

主流微觀幾何測量功能

  • 點、線、面三種測量模式,應(yīng)對從簡單到復(fù)雜的測量任務(wù)
  • 2D輪廓測量,包含長寬高、角度和臺階高度等十余項
  • 3D形貌測量,包含體積、表面積、翹曲度和腐蝕分析等
  • 符合國際ISO25178標(biāo)準(zhǔn)的面粗糙度測量分析

軟件功能強大、開放接口

  • 一鍵初始化,動態(tài)顯示測量數(shù)據(jù)、測量進程和設(shè)備狀態(tài)
  • 采樣頻率、點間距、掃描范圍等參數(shù)均可調(diào)
  • 提供第三方開發(fā)接口,方便用戶進行二次開發(fā)

操作簡單易維護

  • 出廠前已完成精度校準(zhǔn),無需在日常使用中進行校準(zhǔn)操作
  • 無需對樣品傾斜校正,存在較小傾斜角度仍能正常測量
  • 受環(huán)境振動、光線、溫 度等因素影響小
  • 完備的軟硬件培訓(xùn)和技術(shù)支持服務(wù),及時解決用戶問題

說明:實物外觀圖片僅供參考

技術(shù)參數(shù)

基本參數(shù) FS-Compact FS-100 FS-Premium
測量速度
20mm/s
測量點間距
1-100μm
載物臺尺寸 150x150mm 200x200mm 400x400mm
Z軸升降 手動 自動 自動
垂直方向行程
100mm
水平方向行程 100x100mm 120x120mm 250x250mm
水平方向定位精度
1μm/100mm
Z定點測量范圍
1400μm,100-42000μm可選配
Z軸橫向分辨率
最高1μm
Z軸軸向分辨率 17nm (1.7nm可選) 17nm (1.7nm可選) 20nm
Z軸測量精度
150nm (14nm可選)
采樣頻率
100-2000Hz
設(shè)備長寬高 400x550x600mm 700x1080x1300mm 2200x1800x2100mm
承重 5kg 10kg 20kg
電源
100~240VAC, 0.8A, 50-60Hz

主要功能

2D輪廓和臺階高度:

  • 長寬高、深度、角度、弧度
  • 間隙和斷差、臺階高
  • 平整度

3D輪廓和表面形貌:

  • 三維超精細視圖
  • 體積計算
  • 表面積計算
  • 翹曲度測量

ISO25178標(biāo)準(zhǔn)表面粗糙度:

  • 面粗糙度
  • 線粗糙度
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